2019年7月26日,上海市科學技術委員會主任張全一行5人訪問了上海光機所和上海鐳慎光電科技有限公司的重要國際合作伙伴白俄羅斯KBTEM-OMO JSC公司,就雙方在高端裝備制造領域的國際合作項目進行現場調研。上海光機所國際合作辦公室副主任林紅香,上海光機所副研究員,上海鐳慎光電科技有限公司總經理朱菁等人陪同調研。
張全主任一行在KBTEM-OMO JSC公司總裁Sergei Avakaw等人的陪同下,參觀了公司的設計部和生產車間,現場詳細了解了光刻掩模曝光設備、檢測設備和修復設備等高端裝備的關鍵技術指標和技術水平。座談會上,張全主任一行先聽取了自2011年以來雙方在光刻和高端制造領域的多項合作項目和研究成果,以及KBTEM-OMO JSC公司的發展歷史、分支架構和在集成電路光刻掩模領域的關鍵技術和設備研發能力。
張全主任指出,我國需要尋找全球技術頂尖的公司進行合作研究,以彌補國家技術產業的短板。雙方在高端裝備領域的合作符合上海集成電路產業發展的需要,充分響應了國家戰略需求。在上海市科委張全主任一行人員的見證下,上海鐳慎光電科技有限公司總經理朱菁和KBTEM-OMO JSC公司總裁Sergei Avakaw簽署了合作備忘錄。
合作方上海鐳慎光電科技有限公司成立于2017年,是中國科學院上海光學精密機械研究所光電測控團隊經過十多年的產學研開發后,成立的科技成果產業化公司,也是近年來嘉定深化院地合作、與駐區科研院所共同促進科技成果轉化和產業化的典型企業之一。該公司致力于研究與生產基于激光檢測技術的準確、高效、實時的測量手段和診斷儀器,擁有完全自主知識產權。
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